氣相沉積爐的特點是什么 　　氣相沉積爐可用于以碳氫氣體為碳源的復合材料的化學氣相沉積。其中CVD沉積爐是指高溫下的氣相反應，例如，金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解，氫還原或使它的混合氣體在高溫下發生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。這種技術開始是作為涂層的手段而開發的，但目前，不只應用于耐熱物質的涂層，而且應用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導體薄膜等，是一個頗具特征的技術領域。 　　設備特點在于：(1)在低溫下合成高熔點物質;(2)析出物質的形態在單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種;(3)不僅可以在基片上進行涂層，而且可以在粉體表面涂層，特別是在低溫下可以合成高熔點物質，在節能方面做出了貢獻，作為一種新技術是大有前途的。 　　下面小編詳細列舉幾條爐子的特點，以便大家能更好的了解爐子的性能。 　　氣相沉積爐工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；并且，采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好； 　　與此同時采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 　　氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好； 　　氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。

　　真空燒結爐廣泛應用于陶瓷、碳化硅、硬質合金材料、光電鍍模材料和石墨純化的真空燒結處理，在使用燒結爐中要進行維護保養，只有做好保養才可以更長久地使用。下面就詳細列舉出保養方法。 　　如網帶為頂針網帶，請用砂紙等打磨頂針端，以防止對電池片的劃傷，如果是斜角網帶，則在轉速100情況下低速烘烤，以鏟除有機物。燈管感染有機物，請當心用酒精棉或無紡布擦洗。 　　腔體內部清潔作業(需求注重各氣孔有無阻塞)。有機排和熱排的清潔作業(包括廠務和設備，以及設備的油煙盒)，請用酒精清潔設備上的有機物等。真空燒結爐體上的密封結構，真空系統等零部件拆裝時，應用酒精或汽油清洗干凈并經過干燥后，涂上真空油脂再組裝上。各傳動件如果出現限位不準、控制失靈、卡位等現象時，應該立即停止，不要強行進行操作，以免損壞機件。 　　真空燒結爐停爐后，爐內必需保持在66.5LPA以下的真空度。真空泵，閥門，測量儀器，熱工儀表，電氣元件等配套件，都必須按照產品的技術說明使用、維修以及保養。 　　維修操作應在不通電的情況下進行。如果在帶電情況下進行維修時，必須由***的維修人員進行維修，同時確保人身及設備的安全。真空燒結爐鋁板點焊機機械傳動件應定期加油或換油保養。 　　以上是關于對真空燒結爐維修保養的總結，希望對大家有用!